日期：2023-05-11 15:01:28 来源：互联网
(资料图)
1、 快速气相掺杂是一种掺杂剂从气相直接向硅中扩散、并能形成超浅结的快速掺杂工艺。
2、利用快速热处理过程（RTP）将处在掺杂气氛中的硅片快速均匀地加热至所需要的温度，同时掺杂剂发反生应产生杂质原子，杂质原子直接从气态转变为被硅表面吸附的固态，然后进行固相扩散，完成掺杂目的。
本文到此分享完毕，希望对大家有所帮助。
标签：
品牌展会
全国巡演
